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Licht für die Halbleiterindustrie

Präzisionsfertigungs-Lichtquellenlösungen

Licht für die Halbleiterindustrie

Um dem branchenweiten Problem der hohen Abhängigkeit von importierten Kernlichtquellen in der High-End-Fertigung zu begegnen, hat GMY Partnerschaften mit Herstellern von nachgelagerten Anlagen geschlossen, um gezielte Forschung und Entwicklung zu betreiben. Dank seiner technologischen Expertise in den Bereichen Fotoreinigung, Photopolymerisation, Oberflächenmodifizierung, Flüssigkeitssterilisation und industrielle Abgasbehandlung bietet GMY kosteneffiziente optische Anwendungslösungen, die die strengen Prozessanforderungen der Präzisionsindustrie mit stabiler Strahlungsleistung erfüllen.

172nm Fotoreinigung

Die hochenergetische Quantenstrahlung von 172 nm Excimer-UV-Licht spaltet die Molekülketten organischer Schadstoffe auf der Materialoberfläche auf und regt gleichzeitig bioaktiven Sauerstoff und freie Radikale an. Dadurch werden verbleibende organische Stoffe sofort oxidiert und zu gasförmigem CO₂ und H₂O abgebaut. Dies ermöglicht eine berührungslose und chemikalienfreie, ultrareine Oberflächenbehandlung.

Wir bieten innovative Lösungen an, die in folgenden Bereichen weit verbreitet sind:

  • Flüssigkristall- und Halbleiter-Flachbildschirme
  • Halbleiter-Siliziumwafer-Substrate
  • Mikroelektronische integrierte Schaltungen (ICs)
  • Hochpräzise optische Komponenten
  • Herstellung von Photovoltaik-Solarmodulen
  • Biomedizin
  • Mikro-Nano-Fertigung
172nm Excimer Lamp Photo-Cleaning Process
172nm Excimer Surface Matting and Curing Technology

172 nm Photohärtung

Durch die Nutzung der 172-nm-Excimerlaser-Oberflächenmattierungs- und Härtungstechnologie werden Polymerbindungen mittels einer spezifischen, hochenergetischen Wellenlänge direkt aufgebrochen, wodurch eine Hochgeschwindigkeits-Vernetzungsreaktion zwischen Monomeren und Oligomeren initiiert wird. Im Vergleich zur herkömmlichen Breitband-UV-Härtung ermöglicht dieses Verfahren eine präzise Mikrostrukturierung der ebenen Oberfläche und erzielt in kürzester Zeit einen gleichmäßigen Mikrofaltungs-Mattierungseffekt. Dies führt zu einer signifikanten Verbesserung der Oberflächenhärte und Kratzfestigkeit.

Geeignet für folgende Anwendungsbereiche:

  • Spezialbeschichtungs- und Strukturverbindungsverfahren
  • Hochpräziser Grafikdruck
  • Hochgeschwindigkeits-Tintenstrahldruck
  • 3D-Druck
  • Verpackungsdruckindustrie

Reinstwasseraufbereitung und TOC-Abbau

Durch die Kombination einer 185-nm-UV-Lichtquelle mit einer 172-nm-Excimerlampentechnologie wird eine leistungsstarke photochemische Reaktion in Rohrleitungen ausgelöst. Die photokatalytische Spaltung von Wassermolekülen erzeugt hochreaktive Hydroxylradikale, die den restlichen organischen Kohlenstoff (TOC) im Wasser vollständig oxidieren und in CO₂ und H₂O zersetzen. Die 172-nm-Excimerlichtquelle mit ihrer höheren Photonenenergie ermöglicht eine hocheffiziente TOC-Reduktion in Reinstwasser- und Ultrahochreinheitswassersystemen.

Anwendungsbereiche umfassen:
Tiefenreinigung von TOC in Reinstwasser-Endproduktaufbereitungssystemen; Behandlung von Mikroverunreinigungen in Trinkwasser; Erzeugung von hochreinem Industrieozon; Photokatalytischer Abbau von Pestizid- und Chemikalienrückständen in Spuren; Effiziente photokatalytische Entfärbung von Textilfärbereiabwässern.
Ultrapure water purification and TOC reduction system
172nm Hydrophilic Modification Surface Energy Enhancement

172 nm hydrophobe Modifizierung

Erhöhung der Oberflächenenergie:

Durch die Strahlungsintervention von 172-nm-Excimerlicht werden Kohlenwasserstoffketten auf der Oberfläche unpolarer Materialien effizient aufgebrochen. Die photochemische Reaktion führt zu einer Vielzahl polarer hydrophiler Gruppen wie Hydroxyl- (-OH) und Carboxylgruppen (-COOH), wodurch die Oberflächenenergie des Materials signifikant erhöht wird. Das behandelte Substrat erfährt eine vollständige hydrophile Modifizierung, wobei sich Tröpfchen von Mikrokügelchen sofort in einen gleichmäßig benetzten Flüssigkeitsfilm auf der Oberfläche verwandeln.

Metallische Substrate:

Titan, Aluminiumfolie usw.

Halbleiter & anorganische Materialien:

Siliziumwafer, ITO-Glassubstrate.

Technische Kunststoffe für den industriellen Einsatz:

PP, PC, PE, PMMA, PET, PVC, PS.

Technische Vorführung & Werksbesichtigung

Erleben Sie unsere fortschrittlichen Anwendungen für 172-nm-Excimerlichtquellen, präzise Qualitätsprüfungslinien und automatisierte Produktionsabläufe in Aktion.

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Setzen Sie auf GMY für robuste 172-nm-Excimerlampen und individuell anpassbare Fotoreinigungssysteme, die auf Ihre Branchenstandards zugeschnitten sind.

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