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Der 172nm MINl Excimermodul ist eine kompakte, sofort einsatzbereite Desktop-Lösung für Halbleiter-Forschung und -Entwicklung Und LaborvalidierungDurch die Abgabe von kurzwelliger Vakuum-Ultraviolettstrahlung (VUV) werden Molekülbindungen gespalten, um organische Verunreinigungen zu eliminieren und die Oberflächenenergie zu modifizieren, ohne das Substrat zu beschädigen. Dadurch bietet das Gerät eine flexible Plattform zur Prozessvalidierung für Forschungslabore und Universitäten.
Flexibles Display
Optische Dünnschichten
Vorbehandlung vor der Beschichtung
