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172-nm-Excimerlampenmodul, Halbleiterwafer- und Masken-UV-Reinigung, FMM/Invar-Filmmattierung
172nm excimer lamp module
172nm excimer surface treatment
PI film adhesion enhancement light
VUV contact angle reduction module
172nm cold UV light source
Mercury free 172nm light source

172-nm-Excimerlampenmodul, Halbleiterwafer- und Masken-UV-Reinigung, FMM/Invar-Filmmattierung

Es entfernt organische Verunreinigungen im Nanobereich. Es findet breite Anwendung in der UV-Reinigung von Halbleiterwafern, der Reinigung von FMM-Feinmetallmasken, Invarmasken, OLED-Aufdampfmasken und Fotomasken. Weitere Anwendungsgebiete sind die UV-Reinigung von Leiterplatten und die Excimer-UV-Mattierung in Walzenbeschichtungsanlagen. Es stellt eine kostengünstige Alternative zu den 172-nm-Excimerlampen von Hamamatsu und Ushio dar.
  • Modell :

    MO-D330-6
  • Garantie :

    1 year
  • Bestrahlungsstärke @1m :

    >100 mW/cm²
  • Gleichmäßigkeit :

    ±10%
  • Zentrale Bestrahlungsstärke bei 172 nm :

    >70 mW/cm² @3mm
  • Durchschnittliche Nutzungsdauer (Bestrahlungsstärke ≥70 %) :

    2,500 hrs
  • Größe :

    (350×350mm irradiation window)
  • Betriebsfeuchtigkeit :

    20%~80%
  • Betriebstemperatur :

    -5°C~30°C
  • Gesamtleistung :

    1200W ±10%
  • Eingangsspannung (V) :

    AC 110~240V
  • GMY MO-D330-6 172nm Excimerlampenmodul

    Als professioneller chinesischer Hersteller von Excimerlampen

    Unsere Vorteile

    • 01. Maßgeschneiderte Lösungen basierend auf Ihren Anwendungsanforderungen
    • 02. Lieferzeit von der Konzeption bis zur Produktion: 30–45 Tage.
    • 03. Keine Entwicklungskosten | Anpassbar für Einzelgeräte

    Anwendung Felder

    Semiconductor wafer & Mask Cleaning

    Reinigung von Halbleiterwafern und -masken

    VUV-Licht mit einer Wellenlänge von 172 nm ist stark oxidierend. Es zersetzt organische Verschmutzungen und kleinste Partikel auf Wafern – ohne Rückstände. Dies gewährleistet eine präzise Halbleiterfertigung.

    Reinigung von OLED- und Displaypanel-Masken

    172-nm-Excimerlampen emittieren hochenergetisches UV-Licht. Dieses entfernt Verunreinigungen von OLED-/Display-Panel-Masken und verhindert so Pixelfehler. Die Lampen sind mit den Produktionslinien von BOE und TCL CSOT kompatibel.

    Organic particles & TOC Removal
    Film & Coating Production

    Reinigung von FMM-, Invar- und OLED-Aufdampfmetallmasken

    UV-Lampe zur Reinigung von FMM-Feinmetallmasken, 172-nm-Excimerlampe zur Reinigung von Invarmasken,

    OLED-Aufdampfmaskenreinigung UV-Reinigung UV, 172 nm VUV-Metallmaskenreinigung

    172-nm-VUV-Licht zersetzt organische Substanzen auf diesen Masken. Es beschädigt die Maskenstruktur nicht und gewährleistet so eine präzise Pixelpositionierung. Dies verbessert die Produktionsausbeute direkt.

    Film- und Beschichtungsproduktion Excimer-Mattfolien-Produktionslinie

    172nm VUV-Walzenbeschichtungssystem, Excimer-UV-Mattierung.

    UV-Licht mit einer Wellenlänge von 172 nm (Excimer) modifiziert die Folienoberfläche. Es erzeugt eine raue Textur für eine Mattierung und eine bessere Haftung der Beschichtung. Geeignet für die kontinuierliche Walzenbeschichtung.

    Cold Plate & AI Server Cleaning

    Hauptmerkmale

    01 Hochintensive Leistung

    Oberflächenbestrahlungsstärke > 100 mW/cm²; 70 mW/cm² (bei 3 mm). Entfernt organische Verunreinigungen effizient.

    02 Lange Lebensdauer

    Hochwertige Elektroden und präzise Gasregelung. Über 2500 Stunden Grundlebensdauer. 1000 Stunden Garantie, Kapazitätserhaltung. < 30 %. Bis zu 3000 Stunden und mehr für den professionellen Einsatz.

    03 Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit

    Bestrahlungsfenster 350×350 mm, Gleichmäßigkeit ±10 %. Fenstergröße individuell anpassbar.

    04 Sofortbetrieb

    Kein Vorheizen erforderlich, sofortiger Start. Unterstützt Hochfrequenzbetrieb und Rolle-zu-Rolle-Walzenbeschichtungssysteme.

    05 Hohe Anpassungsfähigkeit

    Zuverlässiger Betrieb bei -5 °C bis 30 °C, ideal für Reinräume und temperaturkontrollierte Bereiche.

    06 Flexible Integration

    Wir arbeiten mit verschiedenen Produktionsanlagen. Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen mit schneller Lieferung und ohne Entwicklungskosten.

    07 Quecksilberfreie Lichtquelle

    Verwendet eine quecksilberfreie UV-Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 172 nm und gewährleistet so Sicherheit und Umweltschutz.

    08 Professionell und zuverlässig

    Gestützt auf 30 Jahre Erfahrung in der UV-Lichttechnik und Geräteherstellung, mit Produktionskapazitäten im großen Maßstab, hoher Produktkonstanz, stabiler Leistung und zuverlässiger, termingerechter Lieferung.

    Zertifizierungen & Konformität

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    Zertifiziertes Qualitätsmanagementsystem zur Sicherstellung höchster Fertigungsstandards.

    CE Certified Declaration
    CE

    CE-zertifiziert

    Vollständig konform mit den europäischen Rechtsvorschriften zu Gesundheit, Sicherheit und Umweltschutz.

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    RoHS-konform

    Umweltfreundliche Herstellung, völlig frei von Schadstoffen.

    UL Safety Certificate
    UL

    UL-zertifiziert

    Premium-Standard für elektrische Sicherheit und Brandschutz in Nordamerika.

    Häufig gestellte Fragen

    Q Was ist das Funktionsprinzip der 172-nm-Excimerlampe?

    Die 172-nm-VUV-Excimerlampe erzeugt hochenergetisches Vakuum-Ultraviolettlicht mittels Gasentladung. Sie zeichnet sich durch eine hohe Photonenenergie aus, die die Bindungsenergie gängiger organischer Moleküle weit übersteigt.

    Dank seiner starken Fähigkeit, molekulare Bindungen zu spalten, zersetzt das Licht organische Schadstoffe direkt. Es erzeugt außerdem reaktive Sauerstoffspezies, um die Reinigungswirkung und die TOC-Entfernung zu verbessern.

    Als zuverlässige Alternative zur Ushio-Excimerlampe und zur Hamamatsu 172nm-Lampe eignet sie sich für die Halbleiterreinigung, die Reinigung von Kühlplatten, die Wasseraufbereitung in CDUs und UPWs, die Filmmattenreinigung und andere industrielle Anwendungsbereiche.

    Q Warum GMY wählen?

    1. GMY verfügt über 30 Jahre Erfahrung in der Forschung und Entwicklung sowie der Produktion von UV-Lampen und besitzt fundiertes technisches Know-how.
    2. Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen, die Ihren konkreten Anwendungsanforderungen entsprechen.
    3. Kurze Lieferzeit: 30-45 Tage von der Konzeption bis zum fertigen Produkt.
    4. Keine Entwicklungskosten, und Anpassungen sind sogar bei Einzelbestellungen möglich.

    Q Kann dieses Gerät für mehrere Anwendungsszenarien verwendet werden?

    Ja. Es unterstützt die Reinigung von Halbleiterwafern, Leiterplatten und verschiedenen Masken sowie Filmmattierungs- und Walzenbeschichtungsverfahren. Für unterschiedliche Anwendungen sind nur geringfügige Anpassungen erforderlich.
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KONTAKT :jwtan@gmyok.com